无线电电子学论文_电子级磷酸在电子工业中的应
2022-02-10
文章目录
1.电子级磷酸概述
(1)简介
(2)生产工艺路线
①高纯磷氧化法
②PH3方法
③POCl3水解法
④磷酸三酯水解法
A.技术门槛高
B.产品更新换代快
2.电子级磷酸在电子工业中的应用
(1)在IC制程中应用
(2)在TFT-LCD制程中的应用
3.电子级磷酸的发展现状及趋势
(1)电子级磷酸现状
(2)电子级磷酸发展前景
文章摘要:本文介绍了电子级磷酸的性质、主要应用领域、主流的四种生产工艺路线、质量标准。阐述了电子级磷酸行业具有的特点:技术门槛高、产品更新换代快、功能性强、附加值高、市场占有率较高。介绍了电子级磷酸在电子工业中两种最主要的应用场景,对电子级磷酸的发展现状及趋势作了简要分析,着重对我国电子级磷酸的发展前景做了展望。
文章关键词:
论文分类号:TN04;TQ126.35
